2012 ~ 2019
Established MMT CO.,LTD.
Started various Trap Products Development
반도체 부산물 포집차단수단을 구비한 반도체부산물 포집장치 특허등록
Staged a new Trap demonstration at Hynix.
배관결속용 클램프 특허등록
리프트수단이 구비된 다단형 반도체 처리장치용 전기히터 특허등록
Supplied Powder Trap to all Hynix fabs.
반도체 부산물 포집용 플레이트 디자인등록
반도체 부산물 포집 장치 특허등록
ISO 9001 품질경영시스템 인증
ISO 14001 환경경영시스템 인증
Staged a new Heater demonstration at Hynix.
진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치 특허등록
2020 ~ 2021
Supplied Heater Block to all Hynix fab.
반도체 부산물 포집 장치 특허등록
부산물 포집장치 특허등록
배관결속용 클램프의 잠금용 스플라인 너트 특허등록
사이클론을 이용한 부산물 포집장치 특허등록
CVD 공정의 샤워헤드 특허등록
반도체 공정용 반응 부산물 포집장치 특허등록
반도체 부산물 포집 장치 특허등록
배기가스 중에 포함된 질소산화물의 제거 방법 특허출원
2022 ~
냉각장치 및 이를 동작하는 방법 특허등록 (SKHynix 공동)
반도체 제조 부산물 포집 제거 장치 특허등록
B2H6 Cooling System SK hynix와 공동 중국 특허등록
중국 W-Trap, Mass Production Business 시작
ALD TiCl4 TiN, Non-Stop Trap 특허
ALD TiCl4 TiN, Heater Block Trap & Advanced Trap 특허등록
O2 TDL Detector Monitoring System 특허등록
위험성 평가 우수사업장 인증