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인증 및 특허보유 현황
오시는 길
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분석 및 제어 · 감지 장치
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오시는 길
우리는 반도체 생산장비의 공정 부산물을 포집하는
다양한 종류의 Trap을 제공합니다.
우리는 Process Chamber 내부 Cleaning의 효율을 높이기 위해서 Cleaning Gas의 온도를 보상해 주는
Heater block 및 제어에 필요한 Controller를 모두 제공합니다.