제품소개
- TiCl4 Trap
- W Trap
- ACL Trap
- Etch Trap
- 기타(Cold Trap, Noa Trap, Heating Trap)
- Controller & Data Transmission
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W Trap NW100 or 125 ( Small )
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Advantage
- 효율이 높다
- 공간 맞춤형
- Customizing 가능
- PM주기 : 12개월 이상
- Applied Process : Thin Film W-CVD 공정
-
Hardware Spec.
- Product Size
- Trap : customizing 대응가능
- Controller : customizing 대응가능
- Outer Tank : customizing 대응가능
- Inner tank : 20ℓ ~ 40ℓ
- Heater
- Sheath Type
- Operating Temp. : 150℃ ~ 300 ℃
- Controller
- Channel : 1CH ~ 4CH
- Safety Interlock System
- Product Size
-
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W Trap NW160 ( Large )
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Advantage
- 효율이 높다
- 공간 맞춤형
- PM주기 : 12개월 이상
- Applied Process : Thin Film W-CVD 공정
-
Hardware Spec.
- Product Size
- Trap : customizing 대응가능
- Controller : customizing 대응가능
- Outer Tank : customizing 대응가능
- Inner tank : 60ℓ ~ 100ℓ
- Heater
- Sheath Type
- Operating Temp. : 150℃ ~ 300 ℃
- Controller
- Channel : 1CH ~ 4CH
- Safety Interlock System
- Product Size
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W Trap NW160 ( Medium )
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Advantage
- 효율이 높다
- 공간 맞춤형
- Customizing 가능
- PM주기 : 12개월 이상
- Applied Process : Thin Film W-CVD 공정
-
Hardware Spec.
- Product Size
- Trap : customizing 대응가능
- Controller : customizing 대응가능
- Outer Tank : customizing 대응가능
- Inner tank : 40ℓ ~ 60ℓ
- Heater
- Sheath Type
- Operating Temp. : 150℃ ~ 300 ℃
- Controller
- Channel : 1CH ~ 4CH
- Safety Interlock System
- Product Size
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W Trap NW200 ( Large )
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Advantage
- 효율이 높다
- 공간 맞춤형
- Customizing 가능
- PM주기 : 12개월 이상
- Applied Process : Thin Film W-CVD 공정
-
Hardware Spec.
- Product Size
- Trap : customizing 대응가능
- Controller : customizing 대응가능
- Outer Tank : customizing 대응가능
- Inner tank : 60ℓ ~ 100ℓ
- Heater
- Sheath Type
- Operating Temp. : 150℃ ~ 300 ℃
- Controller
- Channel : 1CH ~ 4CH
- Safety Interlock System
- Product Size
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