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제품소개

  • Diffusion DCS-SiN COLD TRAP

    • Advantage

      • 효율이 높다
      • Customizing 가능
      • PM주기 : 6개월 이상
      • Applied Process : Diffusion 공정

    • Hardware Spec.

      • Product Size
        • Trap : customizing 대응가능
        • Volume : customizing 대응가능

  • NOA TRAP

    • Advantage

      • 효율이 높다
      • Customizing 가능
      • PM주기 : 12개월 이상
      • Applied Process : Thin Film W-CVD 공정

    • Hardware Spec.

      • Product Size
        • Trap : customizing 대응가능
        • Controller : customizing 대응가능
        • Volume : customizing 대응가능
      • Heater
        • Sheath Type
        • 3 kw (1.5 kw x 2)
        • Operating Temp. : 150℃ ~ 300℃
      • Controller
        • Channel : 1CH ~ 4CH
        • Safety Interlock System

  • Heating Trap ( Small )

    • Advantage

      • 효율이 높다
      • Customizing 가능
      • PM주기 : 12개월 이상
      • Applied Process : Diffusion 공정

    • Hardware Spec.

      • Product Size
        • Trap : customizing 대응가능
        • Controller : customizing 대응가능
        • Volume : customizing 대응가능
      • Heater
        • Sheath Type
        • 1.2 kw
        • Operating Temp. : 150℃ ~ 300℃
      • Controller
        • Channel : 1CH
        • Safety Interlock System