제품소개
- TiCl4 Trap
- W Trap
- ACL Trap
- Etch Trap
- 기타(Cold Trap, Noa Trap, Heating Trap)
- Controller & Data Transmission
Controller FDC System
- Trap의 Control 상태 정보를 FDC Server 로 전송
- Data – Heart Temp(S/V, P/V) , Trap동작상태, Error 내용 등을 전송
Heater
Controller FDC System
Heater