제품소개
O2 TDL Analyzer System
System 개요
- 소개 : 여러가지 가스가 혼합되어 유입되는 공정에서 단일 가스(O2)의 농도 분석을 하는 SPECTROMETER로 레이저를 이용한 측정이므로, 비 접촉 식이며, 빠르고, 직접적으로 측정이 가능한 분석기
- 용도 : 산소에 의한 화재, 폭발 등의 사고 발생 가능성이 있는 반도체 공정의 배기가스 분석에 사용
- 측정 가능 가스 : O2, CO, CO2, CO2+CO, H2O, H2S, HCl, NH3, CH4
- DIMENSION : 519(172.5+346.5)L x 690H
- 사용 공정 (실적) : CARBON 증착, WN 증착 공정, Mo Diffusion 공정
O2 Detector System
Data Transmission System (To. FDC)
