System 개요

• 소개 : Vortex의 Air 냉각 기능을 사용하여 Valve 및 MFC의 온도를 낮추어 주기 위한 System.
• 용도 : 반도체 WN 공정에 사용되는 디보란(B2H6) 가스는 높은 온도(30℃~40℃)에서 부산물이 생성되어 Valve 및 MFC의 유로가 막히는 현상을 발생시켜 수명을 단축시킴.
  따라서 위의 냉각 시스템으로 Parts의 수명을 늘려 주는 역할을 수행함.
• 구성 : Vortex 튜브 포함 Controller, Valve 및 MFC를 감싸줄 Cooling Block
• 사용 공정 (실적) : WN 공정 디보란(B2H6) Gas 라인